Yêu cầu kiểm soát ô nhiễm khí điện tử đang ngày càng nghiêm ngặt

Với việc nâng cấp các sản phẩm tiêu dùng điện tử, kích thước của sản phẩm ngày càng lớn hơn, và sản lượng và kiểm soát khiếm khuyết sản phẩm ngày càng trở nên nghiêm ngặt hơn . toàn bộ ngành công nghiệp điện tử có các yêu cầu điện tử trong hệ thống phân phối. Ô nhiễm kích thước hạt có liên quan trực tiếp đến giới hạn phát hiện tối thiểu (LDL) do sự tiến bộ của công nghệ dụng cụ phân tích . do các thử nghiệm hạt laser truyền thống có thể đo 0 {{10 { 12- inch Sản xuất mạch tích hợp tỷ lệ cực lớn đã phát triển thành 45 nanomet . Độ tinh khiết của các khí khối được yêu cầu ở mức ppt và các chỉ số leD-head của CNC. đã đạt được hơn 200lm/w (lumens/watt) và các yêu cầu kiểm soát độ tinh khiết đối với hydro và amoniac cũng ít hơn 1ppb (phần tỷ). Amoniac được sản xuất bởi chưng cất nhiều giai đoạn và các chỉ số kỹ thuật đạt 7n (7 9 s) "Amoniac trắng" . 5 n hydro cần được tinh chế lên 9n bằng máy lọc màng palladi tiên tiến.
Việc áp dụng kịp thời các hệ thống khí đặc biệt số lượng lớn (BSGS) có lợi cho việc cải thiện kiểm soát ô nhiễm . Trước hết, các thùng chứa bao bì lớn đảm bảo tính liên tục của chất lượng khí và giảm nguy cơ ô nhiễm từ nhiều lần hiệu ứng thanh lọc .