Phương pháp chuẩn bị khí siêu tinh khiết

Các khí siêu tinh khiết chủ yếu được điều chế bằng cách tinh chế các khí công nghiệp, sử dụng các phương pháp như hấp phụ, hấp thụ, khuếch tán màng, điện phân, sinh hóa, bức xạ, quang phân để có được khí siêu tinh khiết; Argon thô cũng có thể được chiết xuất từ khí thanh lọc amoniac tổng hợp; thô krypton và xenon được chiết xuất từ khí phân hạch hạt nhân và sau đó được tinh chế để thu được khí siêu tinh khiết .