Khí octtafluorocyclopentene

Octtafluorocyclopentene là một chất lỏng không màu độc hại, không có thể làm được (81 độ F) với một mùi nhỏ đặc biệt.

Octtafluorocyclopentene với nhà cung cấp nhà sản xuất độ tinh khiết 99,99%

CAS: 559-40-0

Einecs: 209-203-0

UN: 2810

Công thức phân tử: C5F8

Octafluorocyclopentene gas is gaining recognition as a superior etching medium in semiconductor fabrication due to its unique cyclic molecular structure. Unlike linear perfluorocarbons, octafluorocyclopentene gas demonstrates exceptional plasma stability and precise etching characteristics that enable superior profile control in high aspect ratio features. The gas's relatively high boiling point (-6°C) allows for easier handling compared to other etching gases, while its density (approximately 6.8 times heavier than air) requires specific safety protocols to prevent accumulation in confined spaces. Recent breakthroughs in 3D NAND flash memory production have particularly benefited from octafluorocyclopentene gas's ability to maintain consistent etch rates across deep trench structures. Environmental considerations surrounding octafluorocyclopentene gas focus on its global warming potential (estimated GWP of 7,200), prompting development of advanced abatement systems that can destroy over 99% of used gas. The compound's thermal stability (decomposition temperature >550 độ) làm cho nó có giá trị như nhau như một môi trường điện môi trong các thiết bị điện áp cao chuyên dụng nơi các chất cách điện truyền thống thất bại.

OCTAFLUOROCYCLOPENTENE (OFCP) chủ yếu được sử dụng trong ngành công nghiệp bán dẫn, đặc biệt là cho các quá trình khắc trong huyết tương. Đây cũng là một vật liệu ban đầu để tổng hợp các hợp chất perfluorin hóa khác được sử dụng trong các thiết bị quang điện tử và các ứng dụng khác.

• Luôn luôn sử dụng theo Bảng dữ liệu an toàn (SDS).
• Xi lanh phải được lưu trữ và sử dụng ở vị trí thẳng đứng, được bảo đảm trong khu vực thông thoáng hoặc được giám sát.
• Luôn luôn tuân theo các yêu cầu về mã lửa cục bộ khi lưu trữ các xi lanh khí.
• Các mối nguy hiểm lớn: Lửa, nghẹt thở.

Chú phổ biến: khí octtafluorocyclopentene, các nhà sản xuất khí, nhà cung cấp, nhà cung cấp, nhà máy, nhà máy, nhà máy, nhà máy